MEMS技术用于超小型音叉晶体，使体积压缩至原有产品1/10音叉谐振器包括底部和从底部延伸的两个振动臂，在两个振动臂上镀有激励电极（红色部分）。该常规结构的晶片微型化后，激励电极面积将随之减小，不利于起振。MEMS技术通过对振动片进行三维立体加工形成H型槽的构造，既确保了电极的面积，又提高了电解效率。MEMS技术有效推动晶体谐振器小型化发展，光刻加工下的晶振体积缩小至18.8mm3小型音叉型晶体器件，体积为原有产品1/10以下（3）MEMS技术用于AT型晶体/AT振荡器，将尺寸公差保持在1um以内利用MEMS技术的光刻加工可以提升石英晶体芯片的一致性与稳定性，光蚀刻工艺能够将尺寸公差保持在1um以内。光刻工艺首先使用电子束真空沉积系统将石英晶片化学蚀刻至预定频率，清洁并用铬和金薄膜金属化。石英掩模和双对准器光刻生成AT条带图案，其中晶片的顶部和底部表面同时对准和曝光。然后通过随后的光掩模步骤限定晶体电极和探针焊盘案。然后对晶片进行化学金属和石英蚀刻以形成单独的AT条带。然后，使用孔掩模和薄膜金属沉积将顶部和底部安装垫连接在一起。光刻工艺完成后，晶圆包含上百个单独的超小型AT晶体谐振器。我国大力发展晶振产业成为全能型国家 。宁夏晶体与晶振

石英晶体硬度及理化性质稳定，频率基本不随温度变化，由此产生的内部振荡损失也很小，非常适合精密制造。同时，区别于传统的机械式加工生产方式，改良的制程更便于批量生产，可以在保证小型化的同时把偏差控制在很小限度内，从而使产品具备小型化、低耗电、高稳定、高频率的优势。应用MEMS技术的微型化产品与传统机械加工生产的晶振前端工艺区别为：1）微型化产品切割环节不是一次性切割成为单个音叉晶体单元，而是首先切割成可以分隔上千支晶片单元的大方片；2）音叉晶片及电极成型环节采用双面光刻工艺，在WAFER片上进行光刻、金属蒸镀、激光调频等集成处理，单个音叉单元尺寸极小。湖南stm32晶振全球晶振市场中谐振器销售额相当高，MHz谐振器出货量相当高。

恒温控制晶体振荡器(OCXO)对于某些应用，TCXO的频率-温度稳定度指标仍无法满足要求。在这些情况下，可能需要OCXO。顾名思义，具有烤腔的振荡器将晶体加热到更高温度，但仍受控制，使得环境温度即使变化大，晶体的温度也保持稳定。由于晶体的温度和振荡器的敏感部份变化很小，频率-环境温度稳定度得到显着改善。在环境温度范围内，OCXO的稳定度可以达到0.001ppm。然而，这种稳定度的提升是以增加功耗为代价的，将热量提供给烤腔当然需要能量。典型的OCXO可能需要1到5W的功率以维持内部温度。在开机后，还需要等待温度和频率稳定的暖机时间，取决于晶体振荡器的类型，暖机时长通常从1分钟到10多分钟。

这个并联谐振电路加到一个负反馈电路中就可以构成正弦波振荡电路，由于晶振等效为电感的频率范围很窄，所以即使其他元件的参数变化很大，这个振荡器的频率也不会有很大的变化。晶振有一个重要的参数，那就是负载电容值，选择与负载电容值相等的并联电容，就可以得到晶振标称的谐振频率。一般的晶振振荡电路都是在一个反相放大器的两端接入晶振，再有两个电容分别接到晶振的两端，每个电容的另一端再接到地，这两个电容串联的容量值就应该等于负载电容，请注意一般IC的引脚都有等效输入电容，这个不能忽略。一般的晶振的负载电容为15皮或12.5皮，如果再考虑元件引脚的等效输入电容，则两个22皮的电容构成晶振的振荡电路就是比较好的选择。石英晶体振荡器的基本原理。

有一些电子设备需要频率高度稳定的交流信号，而LC振荡器稳定性较差，频率容易漂移（即产生的交流信号频率容易变化）。在振荡器中采用一个特殊的元件——石英晶体，可以产生高度稳定的信号，这种采用石英晶体的振荡器称为晶体振荡器。电子元器件的小型化趋势，有力促进了当下社会的发展进步，电子元器件越小，为主板节约的空间越大，因此，有人异想天开，如果能将晶振电路封装到IC芯片(如时钟芯片)内部将是多么wan美，就如同有源晶振在无源晶振的基础内置振动芯片，就无需外部的电容电阻等元器件了。但实际出于各种原因，晶振并没有内置到IC芯片中。这究竟是为什么呢？原因1、早些年，芯片的生产制作工艺也许还不能够将晶振做进芯片内部，但是现在可以了。这个问题主要还是实用性和成本决定的。有源晶振家电市场：每年对晶振的需求超过23.4亿颗。湖南stm32晶振

国产高基频晶振通过高通认证，高基频国产替代需求爆发。宁夏晶体与晶振

TCXO及TSX订单增长，国产替代空间巨大经过2017-2018年晶振市场低迷期，部分日企整生合产线。有源晶振可针对晶体的频率温度特性做相应的补偿，多用于高速通信、导航、汽车电子等领域。2015年-2016年4G建设对温补晶振需求旺盛，日本各厂商纷纷扩张产线。而2017年后，移动通信行业步入4G到5G过渡阶段，温补晶振需求疲软，前期扩产导致库存积压。日本厂商和全球代理商开始消化库存，温补晶振价格一度大幅下跌。石英晶振市场规模在2018年下滑10.11%，至29.4亿美元。巨头NDK公司有源业务在18及19财年连续下滑，KDS业务收入也进入负增长阶段。部分小厂商关闭生产线进行整合，实力较强的大企业则专注高附加值产品，市场集中度进一步提升。例如，以京瓷等的部分日系晶振厂甚至剥离2520、2016尺寸温补晶振产线，转而主攻毛利率更高的1612尺寸产品。宁夏晶体与晶振

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